반도체의 분석기술의 종류

 

 

반도체의 분석기술의 종류

• 형태관찰 ：TEM, EDX/EELS, SEM, EBSD, etc.
• 표면분석 ：SIMS, TOF-SIMS, XPS, AES, EPMA, RBS/HFS, AFM/SSRM/SCM, etc.
• 구조분석 ：FT-IR, Raman, PL, CL, ESR, XRD, GIXR(XRR),
EXAFS, NMR, etc.
• 유기분석 ：GC・GC/MS, LC/MS, NMR, FT-IR, etc.
• 무기분석 ：ICP-AES, ICP-MS, XRF, IC, etc.
• 재료물성 ：DSC, TG-MS/TPD-MS, GPC, etc.
• Ion Implantation Service

이중에아는것이 10개도 안되네..ㅎㅎ