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공정 | 부적합명 | 불량 유형 | 발생 원인 | Action Point |
회로형성 - 정면 |
Dry Film 밀착불량 (Open, Void) |
□ Brush상태가 안 좋음 | ■ Brush연마/교체 재조정 |
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회로형성 - D/F
Laminating |
Dry Film 밀착불량 (Open, Void) |
□ Laminating Hot Roller온도 저하 (90℃이하) □ Laminating Hot Roller 표면 불균일 |
■ 적정온도(110±10℃) 점검 및 재설정 ■ Hot Roller 점검 및 연마/교체 |
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회로형성 - 노광 |
Open 등 회로결손불량 | □ 노광량이 과소할 경우, UV 빛을 받은 Resist가현상후에 씻겨나가 발생 □ 동일 Point 불량 |
■ 노광Lamp 수명점검 및 교체 ■ 노광 Film 이물 관리 |
공정 | 부적합명 | 불량 유형 | 발생 원인 | Action Point |
회로형성 - 현상 |
Short, 잔유동 |
□ 현상액(Na2CO3) 농도 저하 로 인한 미현상 발생 □ 현상액Spray압력 저하로 인한 미현상 발생 |
■ 현상액 농도(1±0.2 wt%) 점검 ■ Filter교환/Nozzle 청소 |
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회로형성 - 부식
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Short, 잔유동 |
□ Etching액 농도 저하로 인한 미부식 발생 □ Etching Speed가 빠를 경우 미부식 발생 |
■ 액분석하여 적정 농도로 맞춤 ■ Speed를 적정조건 으로 Down |
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회로형성 - D/F
Stripping |
Dry Film 미박리 |
□ 박리액 농도 저하로 인한 D/F 잔사 발생 □ 박리액Spray압력 저하로 인한 D/F잔사 발생 |
■ 액분석하여 적정 농도로 점검/맞춤 ■ Filter교환/Nozzle 청소 |