FIB란 무엇인가?FIB의 기본 원리,FIB의 기본 원리(QRT시스템)
FIB(Focused Ion Beam) 소개 다양한 분야(반도체, 바이오, 로봇, 섬유, 디스플레이, IoT 등)에서 새로운 가치를 창출하는 기반 기술로 나노기술이 각광을 받고 있다. 나노기술의 발전과 함께 다양한 나노소재(나노와이어, 나노입자, 나노튜브, 폴리머체인, 나노박막, 나노입계 등)가 개발되고 있으며, 이러한 소재의 물성 측정 및 평가 필요성이 증가하고 있다. 나노소재 고유의 결정구조, 입자크기 및 형상은 물성을 예측하는데 기본이 되는 중요한 특성이며, 이러한 물성 특성을 파악하기 위해 다양한 분석 장비를 이용하고 있다. 특히 나노크기의 이미징 뿐만 아니라 집속빔을 이용한 밀링 및 증착 기능을 보유하고 있어 나노크기의 조작 및 가공이 가능한 집속이온빔 시스템 FIB(Focused Ion Bea..
2021. 9. 4.
반도체의 분석기술의 종류
반도체의 분석기술의 종류 • 형태관찰 ：TEM, EDX/EELS, SEM, EBSD, etc. • 표면분석 ：SIMS, TOF-SIMS, XPS, AES, EPMA, RBS/HFS, AFM/SSRM/SCM, etc. • 구조분석 ：FT-IR, Raman, PL, CL, ESR, XRD, GIXR(XRR), EXAFS, NMR, etc. • 유기분석 ：GC・GC/MS, LC/MS, NMR, FT-IR, etc. • 무기분석 ：ICP-AES, ICP-MS, XRF, IC, etc. • 재료물성 ：DSC, TG-MS/TPD-MS, GPC, etc. • Ion Implantation Service 이중에아는것이 10개도 안되네..ㅎㅎ
2017. 3. 22.
