EDS, EDX, EDAX 란 무엇인가?

EDS : Energy Dispersive Spectrometer

EDAX or EDX : Energy Dispersive X-ray microanalysis

EDS는 에너지 디스퍼시브 x-레이 스펙트로스코피(energy dispersive x-ray spectroscopy)라는
원소분석기로 EDS, EDX, EDAX 등으로 불립니다.

사람들이 에닥스(EDAX)라고 부르는데요..EDAX는 EDS를 최초로 상품화 시킨

미국 소재의 회사 이름입니다.  따라서 EDS라고 불러주시면 될거 같습니다.

일반적으로 전자를 만들어 낼수 있는 장비에 장착하여 검출기의 형태로 사용됩니다.

SEM(Scanning Electron Microscopy)이나 TEM(Transmission Electron Microscopy), 그리고

FIB(Focused Ion Beam)등의 공정 및 분석 장비에 가장 범용적으로 장착됩니다.

간단히 원리를 말씀드리면...

전류의 인가에 의해 생성된 전자를 가속시켜 시료와 충돌 시킵니다.

이 때 시료에서는 내부 전자가 입사전자에 의해 외부로 튀어 나가게 되고(이를 이차전자,

Secondary electron(SE)이라고 합니다. 이  SE를 이용하여 시료의 고배율 이미지 관찰이

가능합니다.) 빈 자리가 생성됩니다. 이 때 원자는 열역학적으로 에너지를 낮추기 위해

상위 궤도에 있는 전자가 빈 자리로 천이되어 원자를 안정화 시킵니다.

이러한 과정에서 두 에너지 궤도의 차이 만큼이 X-ray의 형태로 발산되는데

이 에너지를 측정함으로써 시료의 정성 분석이 가능하도록 만든 장비가 EDS입니다.

X-ray 에너지는 모든 원자가 각자 다른 값을 가지고 있기 때문에 X-ray 에너지에 의해

모든 원자의 구분이 가능합니다. 분해능은 현재 약 129eV입니다.

또한 X-ray 에너지는 K, L, M, N.... 전자 궤도 껍질에 따라 각각 Ka, Kb.., La,..등등으로

세분화 되기 때문에 모든 에너지 값이 일치해야 정성분석이 맞는 결과를 나타낸다고 할 수 있겠습니다.

EDS는 X축을 X-ray 에너지의 항으로, Y축을 intensity(a. u)로 그래프가 그려지는데요

이때 각 peak의 면적을 계산하여 검출된 원소들간의 상대적인 정량법 비교가 가능합니다.

면적에 따른 상대적인 값만을 나타내므로 wt%, 또는 at%로 나타냅니다.

출처 : http://kin.naver.com/detail/detail.php?d1id=12&dir_id=12&eid=PTEqsC25wN+/AlzYBJS6UfnCKfqjDE9I&qb=ZWRheA==

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[다른설명]

EDS(energy dispersive spectroscopy)는 원소의 분석 장비중 하나로서

보통 주사전자현미경(SEM)에 악세사리로 부착되어 일반적으로 사용합니다.

즉, 우리가 일정 범위의 파장대를 샘플에 주사할 경우

각 원소마다 일정한 파장값에서 에너지를 나타내게 됩니다.

Ca : K(베타 ^^ 밑에 베타)의 경우 4.012keV의 에너지를 나타내므로

우리가 파장을 인가할 경우

x축을 에너지로 하고 y축을 카운트 수로 하는 그래프가 그려지는데

그중에서 4.012에 해당하는 x축에 마커가 되겠죠..

이와 반대로

우리가 일정범위의 에너지를 주사하고 이에 반응하여

일정한 파장값을 나타내는 특징을 WDS((wavelength dispersive spectroscopy)라고

하며 이는 EDS보다 더 정밀한 분해능을 가지고 있습니다.

파장이나 에너지값은 원소 자체가 가지고 있는 특징이기에

원소에 대한 분석이 가능한 것이지요

더 자세한 설명 원하시면 메일 주세요.. ^^

좋은 하루 되십시요..

참고로 저는 대학원에서 분석기기를 담당하고 있습니다.

 

 

출처 : http://kin.naver.com/detail/detail.php?d1id=11&dir_id=110209&eid=ImdOHfs+6fiTbc7zTmYkmby+3sOONGGM&qb=ZWRz