반도체의 분석기술의 종류
반도체의 분석기술의 종류 • 형태관찰 :TEM, EDX/EELS, SEM, EBSD, etc. • 표면분석 :SIMS, TOF-SIMS, XPS, AES, EPMA, RBS/HFS, AFM/SSRM/SCM, etc. • 구조분석 :FT-IR, Raman, PL, CL, ESR, XRD, GIXR(XRR), EXAFS, NMR, etc. • 유기분석 :GC・GC/MS, LC/MS, NMR, FT-IR, etc. • 무기분석 :ICP-AES, ICP-MS, XRF, IC, etc. • 재료물성 :DSC, TG-MS/TPD-MS, GPC, etc. • Ion Implantation Service 이중에아는것이 10개도 안되네..ㅎㅎ
2017. 3. 22.